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多臺光刻機(jī)抵達(dá)! 掀起國內(nèi)半導(dǎo)體的制造浪潮

日前,多臺ASML光刻機(jī)運(yùn)入國內(nèi)晶圓廠,5月19日長江存儲迎來了自己的首臺光刻機(jī),5月21日華力集成電路建設(shè)和營運(yùn)的12英寸先進(jìn)生產(chǎn)線建設(shè)項目(華虹六廠)實現(xiàn)首臺工藝設(shè)備——光刻機(jī)搬入……

長江存儲迎來首臺光刻機(jī)

繼中芯國際之后,日前長江存儲也迎來了自己的首臺光刻機(jī),長江存儲的首臺光刻機(jī)同樣來自ASML,為193nm浸潤式光刻機(jī),售價7200萬美元,約人民幣4.6億元,用于14nm~20nm工藝。這也從側(cè)面透露了長江存儲3D NAND閃存芯片的工藝制程。1Cyesmc

長江存儲的官方消息,4月11日,長江存儲首批400萬美元的精密儀器開始進(jìn)場安裝,這標(biāo)志著國家存儲器基地從廠房建設(shè)階段進(jìn)入量產(chǎn)準(zhǔn)備階段,中國首批擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的32層三維NAND閃存芯片將于年內(nèi)量產(chǎn)。1Cyesmc

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5月19日,光刻機(jī)運(yùn)抵武漢天河機(jī)場,設(shè)備相關(guān)的海關(guān)、商檢及邊防口岸的相關(guān)手續(xù)辦理完成后,即可運(yùn)至長江存儲的工廠。這臺光刻機(jī)售價高達(dá)7200萬美元,后期陸續(xù)還會有多臺運(yùn)抵。1Cyesmc

據(jù)悉,國家存儲器基地于去年成功研發(fā)中國首顆32層三維NAND閃存芯片,這顆耗資10億美元、由1000人團(tuán)隊歷時2年自主研發(fā)的芯片,是我國在制造工藝上最接近國際高端水平的主流芯片。1Cyesmc

華力將建成月產(chǎn)能4萬片的12英寸集成電路芯片生產(chǎn)線

5月21日上午,在上海浦東新區(qū)康橋工業(yè)園南區(qū),由華虹集團(tuán)旗下上海華力集成電路制造有限公司建設(shè)和營運(yùn)的12英寸先進(jìn)生產(chǎn)線建設(shè)項目(華虹六廠)實現(xiàn)首臺工藝設(shè)備——光刻機(jī)搬入,此次搬入的首臺工藝設(shè)備為荷蘭阿斯麥公司的NXT 1980Di光刻機(jī),是目前中國大陸集成電路生產(chǎn)線上最先進(jìn)的浸沒式光刻機(jī)。1Cyesmc

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據(jù)了解,華力目前擁有中國大陸第一條全自動12英寸集成電路芯片制造生產(chǎn)線(華虹五廠),工藝技術(shù)覆蓋55-40-28納米各節(jié)點(diǎn),月產(chǎn)能達(dá)3.5萬片。而目前在建設(shè)的華力12英寸先進(jìn)生產(chǎn)線建設(shè)項目是上海市最大的集成電路產(chǎn)業(yè)投資項目,總投資387億元人民幣,預(yù)計將建成月產(chǎn)能4萬片的12英寸集成電路芯片生產(chǎn)線,工藝覆蓋28-14納米技術(shù)節(jié)點(diǎn)。1Cyesmc

項目計劃于2022年底建成達(dá)產(chǎn),主要從事邏輯芯片生產(chǎn),重點(diǎn)服務(wù)國內(nèi)設(shè)計企業(yè)先進(jìn)芯片的制造,并滿足部分事關(guān)國家信息安全的重點(diǎn)芯片制造需求。1Cyesmc

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中芯國際EUV設(shè)備預(yù)計2019年交付

5月16日消息中芯國際(SMIC)同樣從荷蘭芯片設(shè)備制造商ASML訂購了一套極紫外光刻(EUV)設(shè)備,這是目前最昂貴和最先進(jìn)的芯片生產(chǎn)工具,價值1.2億美元,這一設(shè)備預(yù)計將于2019年年初交付。1Cyesmc

ASML所生產(chǎn)的光刻機(jī)是制造微機(jī)電、光電、二極管大規(guī)模集成電路的關(guān)鍵設(shè)備,是目前世界上精度最高,生產(chǎn)效率最高,應(yīng)用最為廣泛的高端光刻機(jī)型。1Cyesmc

世界上很多著名芯片商如英特爾(Intel),三星(Samsung),海力士(Hynix),臺積電(TSMC),中芯國際(SMIC)等,都已經(jīng)開始試驗使用這種EUV設(shè)備生產(chǎn)芯片,他能在更小芯片面積內(nèi)布局?jǐn)?shù)量更多的晶體管,讓計算設(shè)備速度更快,估計今年年底可以生產(chǎn)出第一批成品。1Cyesmc

ASML公司2017年到2018年第一季度全球銷售地圖

由財報數(shù)據(jù)可以看到,ASML公司2017年的主要銷售客戶依次為韓國,中國臺灣,美國,中國大陸,EMEA幾個地區(qū),相比較2017年,2018年第一季度中大陸的采購量有所上升,超越美國和中國臺灣,躍居第二,數(shù)額和EMEA持平,ASML第一大客戶仍然是韓國。1Cyesmc

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選自ASML公司2017財年簡報1Cyesmc

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選自ASML公司2018年Q1財務(wù)報表1Cyesmc

中國加強(qiáng)自主晶圓制造

至此,中芯國際已經(jīng)購入首臺價值1.2億美元的ASML EUV設(shè)備;長江存儲的首臺光刻機(jī)也已運(yùn)抵武漢天河機(jī)場,華力集成電路建設(shè)和營運(yùn)的12英寸先進(jìn)生產(chǎn)線建設(shè)項目也實現(xiàn)了首臺工藝設(shè)備——光刻機(jī)搬入,多臺ASML 的設(shè)備運(yùn)入中國大陸晶圓制造廠。1Cyesmc

這將有助于推動中國自主研發(fā)半導(dǎo)體生產(chǎn)。對于年營業(yè)額達(dá)到90億歐元的阿斯麥公司來說,來自中國的訂單占的分量很小,但這顯示了一個趨勢,中國在芯片市場上也要扮演一個角色。1Cyesmc

有傳言稱基于瓦森納協(xié)議(Verdrag van Wassenaar),荷蘭不能出售頂尖光刻機(jī)給中國。1Cyesmc

對此ASML發(fā)言人早前表示,公司平等對待全球客戶,包括中國客戶,并且依據(jù)瓦圣納協(xié)定,沒有限制向中國客戶銷售EUV光刻機(jī)。1Cyesmc

(國際電子商情微信眾公號ID:esmcol,本文綜合自國際電子商情、IT之家、上觀新聞等)1Cyesmc

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