全球各行業(yè)籠罩在金融危機的陰霾之下，MEMS市場也不例外。消費電子類應用占據(jù)MEMS市場超過50%的比重，而金融危機嚴重沖擊了消費電子產品的銷量，間接影響了MEMS市場?！安贿^金融危機對MEMS市場的沖擊微乎其微，”調研機構The information network認為，“新興市場的崛起會填補消費電子衰退的缺口?！? 此外，該調研機構還指出MEMS市場將從2008年的78億快速增長，至2012年該市場幾乎翻番，達到154億。而目前鮮有晶圓廠的產線是專為MEMS設計的，大部分晶圓廠采用現(xiàn)有的設備進行MEMS生產制造。MEMS的部分制造確實可以采用現(xiàn)有的設備進行，例如光刻、薄膜氣相沉積；但部分工藝制程必須使用特殊的制造設備，例如反應離子深蝕刻、等向性蝕刻、抗靜摩擦薄膜等。針對晶圓制造產業(yè)缺少相應MEMS制造設備的現(xiàn)狀，Point 35 Microstructures推出氣相氧化物釋放蝕刻模塊填補該領域的空白。該公司銷售總監(jiān)Tony Mckie表示，“汽相工藝對MEMS制造起著至關重要的作用，而我們提供SVR工藝組合支持氧化物和硅釋放技術?！? 與傳統(tǒng)基于濕法化學的蝕刻工藝相比，SVR蝕刻方法可以完全取出材料而不損壞機械結構或產生黏附問題，而且還具有高度的可選擇性、可重復性以及均勻性。SVR保留了干燥的表面，沒有任何殘留物或水汽，省去了包含在濕法工藝中的表面準備、引入酸、中和以及隨后的干燥等步驟。此外，SVR與CMOS制程兼容，這一優(yōu)勢令MEMS器件的生產猶如傳統(tǒng)集成電路。此次發(fā)布的新模塊SVR-vHF可以在SVR工藝中的等向性蝕刻流程實現(xiàn)上述SVR優(yōu)點，即完整取出材料、避免黏附，從而提高器件的良率以及性能表現(xiàn)。 另外，Tony特別指出，該國內公司MEMS單晶圓制造系統(tǒng)Memssstar可以覆蓋從設計研發(fā)到產品量產的全面需求，經過更換模塊就能輕松實現(xiàn)，為研發(fā)到量產節(jié)省重新購置機臺的費用?！敖衲?月，將有一臺Memsstar機臺進入中國晶圓廠?！盩ony最后留給大家一個懸念，他沒有透露是哪個晶圓制造商，但Memsstar進入中國顯示了中國晶圓廠在MEMS市場開始有所布局。