全球最大的光掩膜設(shè)備供應(yīng)商Micronic Laser System公司日前在上海召開(kāi)的一場(chǎng)光掩膜技術(shù)研討會(huì)上介紹了該公司剛剛發(fā)布的兩款用于液晶面板生產(chǎn)線的掩膜用激光圖形描繪儀。在新聞發(fā)布會(huì)上，該公司產(chǎn)品管理高級(jí)副總裁Jonas Hasselberg聲稱，屬于Prexision平臺(tái)的這兩款新設(shè)備將是“Micronic Laser System有史以來(lái)最大的技術(shù)提升”。1989年成立的Micronic總部位于瑞典首都斯德哥爾摩北部的Taby。該公司1993年向亞洲地區(qū)付運(yùn)了第一臺(tái)激光圖形描繪儀，并與1995年首次進(jìn)入中國(guó)市場(chǎng)。 Hasselberg表示，由于液晶面板的主要產(chǎn)能目前都聚集在了亞洲地區(qū)，因此Micronic有近90%的營(yíng)收都來(lái)自這個(gè)市場(chǎng)。他介紹說(shuō)，除了歐洲總部和設(shè)在美國(guó)的分公司外，該公司其他的分支機(jī)構(gòu)大都設(shè)立在了包括中國(guó)大陸、中國(guó)臺(tái)灣、日本、韓國(guó)在內(nèi)的遠(yuǎn)東地區(qū)。 在液晶面板的生產(chǎn)流程中，激光圖形描繪儀擔(dān)任的是量產(chǎn)與設(shè)計(jì)之間的橋梁作用。CAD設(shè)計(jì)首先被轉(zhuǎn)成數(shù)據(jù)文件，然后再經(jīng)由激光圖形描繪儀和步進(jìn)式光刻機(jī)，才能形成最終的TFT面板。 “顯示器產(chǎn)業(yè)已經(jīng)開(kāi)始向第十代液晶面板開(kāi)始進(jìn)軍?！盚asselberg說(shuō)，“基材尺寸正在變得越來(lái)越大，夏普已經(jīng)正式宣布了其第十代面板工廠的建設(shè)計(jì)劃，新一代工廠生產(chǎn)的3×3m²面板有望幫助實(shí)現(xiàn)65英寸液晶的大規(guī)模生產(chǎn)，并將推動(dòng)42英寸液晶的進(jìn)一步降低。不過(guò)，這同時(shí)也將成為面板產(chǎn)業(yè)有史以來(lái)最大規(guī)模的投資，如何在大尺寸基材上提高良率、降低成本，才是產(chǎn)業(yè)最為關(guān)心的話題?！? 新推的Prexision-10就是針對(duì)夏普年中發(fā)布的十代廠而開(kāi)發(fā)的。據(jù)稱，除了大幅提高了LCD所用到的光掩膜的精度和質(zhì)量之外，相對(duì)于目前的產(chǎn)品生產(chǎn)力和可靠性也大大提高了。據(jù)稱，Micronic已經(jīng)接到了來(lái)自日本的兩臺(tái)Prexision-10訂單。該公司總裁兼執(zhí)行總監(jiān)Sven Lofquist表示，這是Micronic成立以來(lái)所接到的最大訂單。第一臺(tái)Prexision-10將于明年下半年交付客戶使用。 Prexision-10市場(chǎng)上的初戰(zhàn)告捷意味著該公司將繼續(xù)在接近1,000億美元的顯示器領(lǐng)域扮演領(lǐng)導(dǎo)者的角色。不過(guò)，在瞄準(zhǔn)10代技術(shù)的同時(shí)，其兄弟產(chǎn)品Prexision-8也同時(shí)推出。據(jù)悉通過(guò)旋轉(zhuǎn)等流程，Prexision-8的用戶能夠借助一些細(xì)微的調(diào)整來(lái)改善良率。Prexision-8還能夠向下兼容8代以下的各代液晶生產(chǎn)線。 上述兩款Prexision平臺(tái)產(chǎn)品都是基于LRS系列而建立的。不過(guò)，與現(xiàn)有的LRS15000相比，其在光感尺寸精度(CD)控制和位置校準(zhǔn)精度上都分別提高了30%和50%，并在消除色斑不均衡引起的云紋現(xiàn)象上有了顯著改善。此外，新設(shè)備的單位時(shí)間內(nèi)的吞吐量也比LRS15000 -TFT3高出60%，比LRS15000 -TFT2高出20%。