凱美特氣體子公司近日宣布，其光刻氣體產(chǎn)品獲得荷蘭芯片制造設(shè)備制造商ASML子公司Cymer的合格供應(yīng)商認(rèn)證。這項(xiàng)日期為 2 月 2 日的公告發(fā)布的時(shí)間很有趣，最近有報(bào)道稱美國(guó)、日本和荷蘭之間達(dá)成協(xié)議，限制向中國(guó)出口芯片設(shè)備。68uesmc
公告顯示，凱美特氣體旗下專業(yè)生產(chǎn)電子特種氣體（ESG）的子公司于2月2日收到Cymer的認(rèn)證函。信中稱，凱美特ESG的光刻氣體產(chǎn)品已通過Cymer的審核，已被列入名單。的合格供應(yīng)商。68uesmc
Cymer 是“ASML 集團(tuán)內(nèi)獨(dú)立運(yùn)營(yíng)的企業(yè)”，是準(zhǔn)分子激光光源的領(lǐng)先供應(yīng)商。Cymer 發(fā)明并現(xiàn)在開發(fā)、制造和服務(wù)光刻技術(shù)所需的深紫外 (DUV) 光源，這是半導(dǎo)體制造中最重要的部分。其產(chǎn)品組合包括使用氟化氬 (ArF) 和氟化氪 (KrF) 氣體產(chǎn)生 DUV 的準(zhǔn)分子激光器。68uesmc
凱美特表示，此次認(rèn)證是Cymer對(duì)公司在光刻氣體方面生產(chǎn)能力和產(chǎn)品質(zhì)量的認(rèn)可。這也是公司在先進(jìn)生產(chǎn)、鋼瓶?jī)?nèi)壁、氣體分析技術(shù)等方面綜合實(shí)力和競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)的體現(xiàn)。68uesmc
據(jù)中國(guó)媒體愛集微報(bào)道，凱美特并不是第一家通過ASML驗(yàn)證的中國(guó)ESG廠商。在凱美特之前，廣東華特氣體自主研發(fā)的四種混合氣體早在2017年就已通過ASML認(rèn)證。四種氣體分別為氬/氟/氖（Ar/F/Ne）、氪/氖（Kr/Ne）、Ar/Ne , 和氪/氟/氖。68uesmc
不過，凱美特的認(rèn)證恰逢美國(guó)與日本和荷蘭討論限制向中國(guó)出口芯片制造設(shè)備的有趣時(shí)間點(diǎn)。荷蘭之所以成為這場(chǎng)三方會(huì)談的一部分，正是因?yàn)樗?nbsp;ASML 的大本營(yíng)。盡管該交易尚未正式通過，但 ASML 表示“理解”在限制對(duì)中國(guó)的出口方面取得了進(jìn)展。68uesmc
然而，凱美特的認(rèn)證或許表明 ASML 仍在向中國(guó)供應(yīng)商采購(gòu)。雖然這與芯片制造設(shè)備出口沒有直接關(guān)系，但可能與美國(guó)限制中國(guó)半導(dǎo)體發(fā)展的目標(biāo)相沖突。由于 ASML 至少在考慮因這筆交易而實(shí)施進(jìn)一步的出口管制，其與中國(guó)供應(yīng)商的關(guān)系在未來值得關(guān)注。68uesmc
美國(guó)芯片禁令導(dǎo)致包括ESG在內(nèi)的半導(dǎo)體材料國(guó)產(chǎn)化加速。數(shù)據(jù)顯示，2017年至2021年，中國(guó)ESG市場(chǎng)規(guī)模從175億元增長(zhǎng)至342億元，年均復(fù)合增長(zhǎng)率達(dá)18%。預(yù)計(jì)到2026年，中國(guó)ESG市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到808億元，2021-2026年復(fù)合年增長(zhǎng)率為18.76%。68uesmc
責(zé)編：Editordan
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