氦氣正在變得緊缺。對于它的用途,消費者可能最熟悉的就是充氣球,但其實各種工業(yè)領域?qū)獾膽酶訌V泛,其中也包括半導體制造。出于供給考慮,包括泛林集團在內(nèi)的許多公司都在尋找減少氦氣使用的方法。I6Mesmc
半導體芯片的制造涉及多種材料。有些材料比如硅的參與顯而易見,最終會出現(xiàn)在成品中;其他材料則不那么明顯,只是參與了幕后過程,最后不會出現(xiàn)在芯片里。氦氣就屬于后者,主要用于冷卻。I6Mesmc
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氦是自然界中第二小的原子,僅次于氫。氦氣是一種惰性氣體,不與其他任何物質(zhì)發(fā)生化學反應。它在-268.9°C液化。它的沸點和冰點低于其他任何已知物質(zhì),其導熱系數(shù)(傳遞熱量的能力)也是除氫氣以外的氣體中最高的。I6Mesmc
和許多其他材料一樣,有兩種方法可以獲取氦氣,從大自然中提取或者在實驗室里合成。由于合成成本太高,目前氦氣只能靠提取獲取?;厥蘸獾姆椒ㄟ€在討論中,尚未得到普遍應用。這意味著,氦氣使用后便被丟棄,后續(xù)無法再次利用。I6Mesmc
尋找氦氣 I6Mesmc
氦氣只有一種可靠來源:天然氣藏。由于鈾等元素的放射性衰變,地球上產(chǎn)生了氦氣。氦氣常常在天然氣藏附近的地下水里聚集。雖然空氣中也有氦氣,但從空氣中獲取氦氣的成本是從天然氣藏中提取的10,000 倍。也因此,使用后被釋放到環(huán)境中的氦氣目前無法得到再利用或回收。I6Mesmc
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雖然并非每個天然氣藏都含有相當數(shù)量的氦氣,但這樣的礦床不少。一般來說,0.3%以上的氦含量就具有商業(yè)開采價值。對于這些氣田來說,只要天然氣被提取出來,氦氣也就分離出來了。I6Mesmc
目前能產(chǎn)出氦氣的國家很少,僅有美國、加拿大、卡塔爾、阿爾及利亞、波蘭、俄羅斯和澳大利亞。在這七個國家中,分離氦氣的精煉廠不到 20 家。隨著氦氣的提取和天然氣供應的枯竭,氦氣產(chǎn)量將會減少,這引發(fā)了目前對氦氣長期可持續(xù)性的擔憂。I6Mesmc
隨著供給逐步減少,氦氣已經(jīng)成為一種戰(zhàn)略材料,這使行業(yè)與政府都開始關注氦氣未來的用處和用法。同時市場已經(jīng)做出反應,氦氣價格在過去十年中翻了一番。短期價格飆升和短缺比過去更加普遍,政府管控的可能性增加。I6Mesmc
這對要求來源穩(wěn)定、可預測的制造企業(yè)來說是一種挑戰(zhàn)。它們正在尋找生產(chǎn)過程中盡可能減少氦氣使用的方法。I6Mesmc
泛林正在持續(xù)關注氦氣的減量 I6Mesmc
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泛林集團正在努力減少對氦氣的依賴,這些氦氣在泛林的某些設備中用于冷卻。我們面臨的挑戰(zhàn)在于,要在不中斷設備運行和客戶使用這些設備進行批量生產(chǎn)的前提下,減少氦氣的使用量。I6Mesmc
我們正在盡一切可能尋找氦氣的替代品。挑戰(zhàn)在于,除了非常活潑的氫氣,沒有比氦氣導熱系數(shù)更高的材料。也就是說,即便是可行的替代品,其導熱速度也都不如氦氣。如果導熱太慢,制造過程中的冷卻時間就要延長,導致整體生產(chǎn)的時間增加,效率也隨之降低。泛林正在努力尋求兩者的平衡。I6Mesmc
由于泛林的努力,目前我們的客戶每生產(chǎn)一片晶圓所使用的氦氣已經(jīng)大幅減少,但我們能做的還有很多。泛林集團的目標是繼續(xù)降低使用我們的設備所需的氦氣量。隨著氦氣價格的不斷攀升,氦氣替代品的發(fā)現(xiàn)對于我們的客戶來說就是降低成本,從長遠來看,這將是半導體制造可持續(xù)化進程中的又一大步。I6Mesmc
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