中微半導(dǎo)體設(shè)備公司在刻蝕領(lǐng)域和薄膜沉積領(lǐng)域深耕已久，并曾制造出中國(guó)第一臺(tái)電解質(zhì)刻蝕機(jī)。目前它推出的等離子體刻蝕設(shè)備已被廣泛應(yīng)用于國(guó)際一線客戶從65納米到14納米、7納米和5納米的集成電路加工制造及先進(jìn)封裝，芯片介質(zhì)刻蝕設(shè)備占據(jù)了中芯國(guó)際 50%以上的新增采購(gòu)額。8okesmc

同時(shí)，中微公司是國(guó)內(nèi)唯一兼具CCP與ICP兩種刻蝕技術(shù)的企業(yè)。公司2021年上半年刻蝕設(shè)備收入為8.58億元，較去年同期增長(zhǎng)約83.79%，毛利率達(dá)到44.29%。8okesmc

【編輯注：根據(jù)產(chǎn)生等離子體方法的不同，干法刻蝕主要分為電容性等離子體刻蝕(CCP)和電感性等離子體刻蝕(ICP)。CCP和ICP是等離子刻蝕設(shè)備中應(yīng)用最廣泛的兩類設(shè)備?！?span style="display:none">8okesmc

目前公司等離子體刻蝕設(shè)備已被廣泛應(yīng)用于國(guó)際一線客戶從65納米到14納米、7納米和5納米的集成電路加工制造及先進(jìn)封裝。8okesmc

半導(dǎo)體領(lǐng)域的薄膜沉積方面，中微公司的MOCVD可用于制造LED外延片、LED、OLED、MiniLED等。從2010年開(kāi)始，中微公司開(kāi)發(fā)用于LED外延片加工中最關(guān)鍵的設(shè)備MOCVD設(shè)備，目前已開(kāi)發(fā)了三代 MOCVD設(shè)備，可用于藍(lán)綠光LED、功率器件等加工，包括:第一代設(shè)備PrismoD-Blue、第二代設(shè)備Prismo A7及正在開(kāi)發(fā)的第三代30英寸大尺寸設(shè)備。8okesmc

上半年中微公司的MOCVD設(shè)備營(yíng)收2.19億元同比下降10.08%，但該項(xiàng)業(yè)務(wù)毛利率達(dá)到30.77%，較去年同期大幅提升。8okesmc

其核心產(chǎn)品如下表所示：8okesmc

表：中微半導(dǎo)體設(shè)備公司核心產(chǎn)品包括等離子體刻蝕設(shè)備及MOCVD設(shè)備等。8okesmc

在客戶方面，中微設(shè)備已成功進(jìn)入了部分海內(nèi)外主流半導(dǎo)體制造企業(yè)：8okesmc

• 刻蝕設(shè)備的用戶包括臺(tái)積電、中芯國(guó)際、聯(lián)華電子、華力微電子、海力士、長(zhǎng)江存儲(chǔ)等集成電路制造商（或半導(dǎo)體封測(cè)廠商）；
• MOCVD設(shè)備的客戶包括三安光電、璨揚(yáng)光電、華燦光電、乾照光電等LED芯片及功率器件制造商。

研報(bào)披露已在進(jìn)軍3nm工藝

中微公司稱，目前CCP刻蝕機(jī)已在5nm器件上實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，并在5納米以下器件的試生產(chǎn)上實(shí)現(xiàn)了突破性的進(jìn)展。8okesmc

在研項(xiàng)目顯示中微公司目前已完成3nm刻蝕機(jī)Alpha原型機(jī)的設(shè)計(jì)、制造、測(cè)試及初步的工藝開(kāi)發(fā)和評(píng)估。8okesmc

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用于更小器件、厚度薄的軟材料的ICP刻蝕機(jī)則在高速發(fā)展階段。 8okesmc

中微臨港產(chǎn)業(yè)化基地項(xiàng)目開(kāi)工

2004年，公司董事長(zhǎng)尹志堯放棄美國(guó)百萬(wàn)年薪，帶領(lǐng)15人小團(tuán)隊(duì)回國(guó)創(chuàng)辦了中微。目前中微的設(shè)備已打入臺(tái)積電、中芯國(guó)際、意法半導(dǎo)體等制造和封測(cè)客戶。8okesmc

近日，中微臨港產(chǎn)業(yè)化基地項(xiàng)目開(kāi)工，該項(xiàng)目規(guī)劃總建筑面積約18萬(wàn)平方米，項(xiàng)目基礎(chǔ)建設(shè)總投資約15億元。項(xiàng)目建成后將滿足中微公司集成電路設(shè)備、泛半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)、測(cè)試和產(chǎn)業(yè)化需求。中微臨港產(chǎn)業(yè)化基地計(jì)劃于2022年底建成并投入使用。8okesmc

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圖：中微公司董事長(zhǎng)兼總經(jīng)理尹志堯博士。8okesmc

中微剛剛公布的上半年業(yè)績(jī)大幅提升，同時(shí)上半年也加大了研發(fā)投入，開(kāi)支2.86億元，相較去年同期增長(zhǎng)38.1%。公司的研發(fā)人數(shù)也從去年同期的298人增加至348人。8okesmc

9月14日，中微公司董事長(zhǎng)尹志堯先生將出席第二屆中國(guó)（上海）自貿(mào)區(qū)臨港新片區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展高峰論壇，進(jìn)行《打造全方位高質(zhì)量的，有國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的半導(dǎo)體設(shè)備公司》的主題演講，歡迎【點(diǎn)擊這里免費(fèi)報(bào)名現(xiàn)場(chǎng)交流】。8okesmc

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責(zé)編：胡安8okesmc

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