國際電子商情訊 有報道稱，29日晚間，臺積電南科晶圓18廠5nm全廠停產(chǎn)，原因是該廠在產(chǎn)線不慎使用了部分疑似受污染的氣體。zmJesmc

報道指出，當(dāng)涉事工廠發(fā)現(xiàn)問題之時，氣體污染影響的范圍較大，因此臺積電除了暫時將18廠5nm全廠停產(chǎn)，還立即通知已回家的員工返回工廠控制事態(tài)，并將一些供應(yīng)商擋在廠區(qū)之外。zmJesmc

國際電子商情了解到，氣體污染對芯片制造會帶來一定影響。聯(lián)華林德中國區(qū)總裁唐瑞平在2019年時曾向《國際電子商情》姊妹刊《電子工程專輯》介紹，幾乎所有制造過程中都需要使用大量氮氣，用以凈化和抑制化學(xué)敏感工序。因為“工業(yè)氣體是半導(dǎo)體發(fā)展必不可少的血液。”據(jù)悉，聯(lián)華林德是全球第三大氣體公司——林德（Linde）和臺灣地區(qū)工業(yè)氣體制造商在80年代末、90年代初于大陸地區(qū)合資成立的子公司。zmJesmc

唐瑞平指出“對電子行業(yè)而言，設(shè)備投資很貴，工藝要求很復(fù)雜，良率是競爭力的保證。要怎樣得到好的良率，除了工藝保證之外，工業(yè)氣體的純度、穩(wěn)定性、可靠性都是先決條件。業(yè)內(nèi)最近兩年發(fā)生過一些良率事故，都是因為氣體純度出了問題。”zmJesmc

臺積電回應(yīng)：傳言嚴(yán)重夸大，事件影響甚微

對此，臺積電今(30)日回應(yīng)說“傳言過于夸大”，并強調(diào)，經(jīng)內(nèi)部確認(rèn)是有部分來自廠商供應(yīng)的氣體疑似受污染，已即時調(diào)度其他氣體供應(yīng)，為確保生產(chǎn)品質(zhì)無虞，正進行嚴(yán)密后續(xù)作業(yè)，此事件對營運并未造成顯著影響，后續(xù)將持續(xù)追蹤。zmJesmc

臺積電總裁魏哲家也在近期法說會上表示，5nm制程良率良好，在智能手機與高效運算相關(guān)應(yīng)用驅(qū)動下，需求持續(xù)強勁，估今年5nm制程將占整體晶圓銷售的20%。zmJesmc