光刻機(jī)“被禁運(yùn)”事件
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截圖自日經(jīng)新聞31besmc
《日經(jīng)新聞亞洲評(píng)論》援引消息人士的話(huà)稱(chēng),ASML成為美國(guó)政府的“犧牲品”,“延遲發(fā)貨”的一大原因來(lái)自于美國(guó)政府的壓力。31besmc
消息人士還稱(chēng),ASML暫時(shí)決定推遲EUV設(shè)備的交付,“是因?yàn)樗幌胱屆绹?guó)政府對(duì)此感到不安”,因?yàn)镋UV是目前最先進(jìn)的芯片光刻機(jī)。“但與此同時(shí),考慮到中國(guó)是現(xiàn)如今增長(zhǎng)最快的芯片市場(chǎng),ASML也不想讓中國(guó)及其中國(guó)客戶(hù)對(duì)此失望不滿(mǎn)。” 他補(bǔ)充道。31besmc
當(dāng)事雙方相繼否認(rèn)
消息出街后,中芯國(guó)際的股價(jià)受到打擊,跌幅超過(guò)5%。不過(guò),對(duì)于外媒的報(bào)道,當(dāng)事雙方均對(duì)此否定。31besmc
當(dāng)事人之一的ASML在上周就日經(jīng)新聞報(bào)道關(guān)于交貨時(shí)程的報(bào)道表示不滿(mǎn),并譴責(zé)該媒體在未曾得到證實(shí)的情況下,將推測(cè)直接定性為事實(shí)作為新聞標(biāo)題并在文中闡述一事發(fā)出抗議。31besmc
“實(shí)際上在我們第三季度財(cái)報(bào)中,就已經(jīng)將相關(guān)情況進(jìn)行說(shuō)明,根據(jù)瓦圣納協(xié)議(Wassenaar Arrangement),ASML出口EUV到中國(guó)需取得荷蘭政府的出口許可(export license)。該出口許可于今年到期,ASML已經(jīng)于到期前重新進(jìn)行申請(qǐng),目前正在等待荷蘭政府核準(zhǔn)。因此,關(guān)于“ASML決定延遲/終止出貨”的說(shuō)法是錯(cuò)誤的,ASML只是在遵循法規(guī)行事,并一視同仁地服務(wù)我們?nèi)蚩蛻?hù)。”ASML相關(guān)負(fù)責(zé)人強(qiáng)調(diào)。31besmc
對(duì)于何時(shí)能拿到許可證,ASML相關(guān)負(fù)責(zé)人表示,目前處于正常的流程狀態(tài)中,尚未掌握確切的時(shí)間。31besmc
同一天,中芯國(guó)際也就此事做出回應(yīng):“極紫外光(EUV)還在紙面工作階段,未進(jìn)行相關(guān)活動(dòng)。公司先進(jìn)工藝研發(fā)進(jìn)展順利。目前,研發(fā)與生產(chǎn)的連結(jié)一切正常,客戶(hù)與設(shè)備導(dǎo)入正常運(yùn)作。”31besmc
“坎坷”的光刻機(jī)交付之路
中芯國(guó)際是中國(guó)大陸最大的半導(dǎo)體制造公司。31besmc
去年5月,中芯國(guó)際向荷蘭ASML訂購(gòu)了首臺(tái)EUV光刻機(jī),價(jià)值1.2億美元,幾乎相當(dāng)于該司2017年全部?jī)衾麧?rùn)。光刻機(jī)原計(jì)劃于2019年年初交付。(相關(guān)閱讀:中芯1.2億美元向ASML訂購(gòu)一臺(tái)EUV光刻機(jī)!)31besmc
而去年12月,在臨近交貨時(shí)間,ASML突發(fā)大火。根據(jù)官網(wǎng)信息,火災(zāi)摧毀元件供應(yīng)商Prodrive工廠的部分庫(kù)存、生產(chǎn)線,因此,2019年年初供貨情況預(yù)計(jì)將會(huì)遞延。31besmc
如今2019年已經(jīng)臨近尾聲,EUV仍未交付至中芯,并再次面臨“延遲通知”的風(fēng)險(xiǎn)。ASML方面將此歸因于出口許可證到期。31besmc
不過(guò),業(yè)內(nèi)人士透露,這批設(shè)備仍預(yù)計(jì)最快在 2020 年初前出貨,并且在 2020 年底前完成裝機(jī)。31besmc
ASML是全球EUV光刻機(jī)的唯一供應(yīng)商,并且是全球市值最高的芯片設(shè)備制造商。ASML年收入約在 83 億歐元 (約644億元人民幣) 左右。其中16%來(lái)自英特爾和美光等美國(guó)公司,19%來(lái)自中國(guó)。另外,ASML制造機(jī)器所需的零部件,有五分之一是在美國(guó)工廠生產(chǎn)的。31besmc
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