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光刻機霸主ASML回應(yīng)”先進設(shè)備不賣給中國”的傳聞

早前一段時間,網(wǎng)絡(luò)盛傳因瓦森納協(xié)定限制,光刻機霸主ASML的最先進光刻機臺不能賣給中國。日前,國際電子商情記者采訪ASML中國區(qū)總裁沈波,他說一直以來外界對ASML都存在一定的誤解。

早前一段時間,網(wǎng)絡(luò)盛傳因瓦森納協(xié)定限制,光刻機霸主ASML的最先進光刻機臺不能賣給中國。在2018年中國集成電路制造年會上,國際電子商情記者采訪ASML中國區(qū)總裁沈波,他說一直以來外界對ASML都存在一定的誤解。CFyesmc

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ASML中國區(qū)總裁沈波CFyesmc

關(guān)于光刻機禁售中國這一說法,他表示這是不真實的,中國已經(jīng)能用到的光刻機從來沒有拿不到的情況?,F(xiàn)在NXT 1980浸潤式機臺已經(jīng)進入中國,2000機型明年也將落地中國。但從晶圓制造工藝來看,并不是擁有光刻機就能解決所有問題,關(guān)鍵在于制造技術(shù)的提升。CFyesmc

三星、英特爾、臺積電早年投資入股ASML,因此外界認為他們具有設(shè)備的優(yōu)先采購權(quán),恐抑制先進設(shè)備對其他晶圓廠的供給?對于這種說法,沈波解釋,當(dāng)時這三家廠商的投資背景是希望ASML加快研發(fā)腳步,早期他們進行投資,并做了很多技術(shù)準(zhǔn)備,因此在新機臺推出時能較早地用到設(shè)備。實際上,整個光刻機的供應(yīng)產(chǎn)能每年都在提高,按照訂單排期,不存在不賣給中國的問題。CFyesmc

中國近年的建廠熱潮有目共睹,但沈波指出,真正往前推進的晶圓廠比目前宣布的少很多。CFyesmc

據(jù)介紹,ASML今年研發(fā)投入為16億歐元,占年收入15%左右。2018年上半年發(fā)貨到中國的設(shè)備,包括國內(nèi)和國際客戶在中國的晶圓廠,已經(jīng)占到ASML營收的19%-20%,且全年占比預(yù)計15%左右。除了美光和東芝在中國沒有設(shè)廠外,中芯國際、華虹宏力、長江存儲、合肥睿力、福建晉華、英特爾大連廠、三星西安廠、無錫海力士等都是ASML的客戶,CFyesmc

AMSL在中國共有13間辦公室和分公司,11個倉儲轉(zhuǎn)運中心。研發(fā)中心設(shè)于北京(漢民微測)和深圳(睿初科技),負責(zé)計算光刻和量測設(shè)備關(guān)建模組的研發(fā)。在中國的員工人數(shù)近1000人。今年5月,與上海集成電路研發(fā)中心合作,揭幕全球第五個培訓(xùn)中心,也是在中國大陸唯一一個培訓(xùn)中心。ASML還贊助了上海未來科技大賽,每年在大學(xué)組織開展技術(shù)講座。總之,在中國傾注了大量的投入,提供更貼近中國市場的服務(wù)。CFyesmc

聯(lián)電、格芯相繼宣布放棄12nm、7nm研發(fā),7nm玩家僅有臺積電、三星、INTEL等少數(shù)廠商,對ASML有何影響?沈波回應(yīng),現(xiàn)階段,晶圓廠根據(jù)自己的業(yè)務(wù)規(guī)劃選擇了不同的制造技術(shù),晶圓廠無論放慢或者加快研發(fā)腳步,始終離不開制造良率、穩(wěn)定性這些主要技術(shù)參數(shù),ASML將幫助客戶不斷提升工藝技術(shù)。CFyesmc

ASML的產(chǎn)品主要有三大類,DUV、EUV和APLLICATION產(chǎn)品。DUV業(yè)務(wù)最大,2018年-2019年客戶開始導(dǎo)入EUV,2020年14nm,7nm都將用到EUV。因此,EUV機臺預(yù)計有較大產(chǎn)能提高。CFyesmc

沈波表示,今年存儲市場表現(xiàn)強勁,邏輯市場放緩,不過值得注意的是,邏輯的制程工藝開始使用最尖端的EUV制程,將對DRAM提出更高要求。ASML將不斷提高產(chǎn)品的性能,以幫助客戶持續(xù)提升芯片價值并降低成本。CFyesmc

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