據(jù)韓媒Digital Times報導(dǎo)，三星電子即將在華城廠區(qū)17產(chǎn)線附近的停車場空地增建1條新的EUV專用產(chǎn)線，最快2017年12月就會動工，預(yù)定2019年啟用,將利用初期10納米技術(shù)生產(chǎn)DRAM，開業(yè)界先河。Kjuesmc
韓國ETNews報道稱，三星華城Line 17工廠預(yù)計投資在2.5萬億到3萬億韓元之間，約合22-26.4億美元，以300mm晶圓計算，擴(kuò)建之后每月產(chǎn)能將提升3.5萬片晶圓，目前的產(chǎn)能約為4萬片晶圓/月。Kjuesmc
三星華城廠區(qū)內(nèi)有DRAM、NAND Flash、晶圓代工等多種半導(dǎo)體產(chǎn)線，目前三星還在研議是否將這條EUV產(chǎn)線與其余7條原本的半導(dǎo)體產(chǎn)線、輸送帶連接運(yùn)行。Kjuesmc
業(yè)界認(rèn)為，三星除了要在晶圓代工使用EUV設(shè)備，也有意將EUV設(shè)備用在DRAM生產(chǎn)，2019年領(lǐng)先同業(yè)量產(chǎn)1znm制程DRAM。Kjuesmc
三星增建產(chǎn)線會在當(dāng)?shù)貛斫煌ㄘ?fù)荷，但最近華城市政府已通過交通影響環(huán)評審議，因此三星只需完成剩余的建廠申請行政流程，立刻就可以動工。三星雖未明確公布將使用幾臺EUV設(shè)備，但業(yè)界推測應(yīng)在4~8臺。Kjuesmc
皆為保住DRAM市場龍頭寶座
半導(dǎo)體大廠搶進(jìn)先進(jìn)制程，尤以10納米以下必須導(dǎo)入波長只有13.5納米的極紫外光(EUV)，才能降低晶圓制造的光罩?jǐn)?shù)，縮短芯片制程流程。由于要價1.5億美元（折合新臺幣約45億元）的EUV設(shè)備，目前只有艾司摩爾(ASML)獨家供應(yīng)。Kjuesmc
三星在2016年10月開始以現(xiàn)有的曝光設(shè)備反復(fù)刻畫電路量產(chǎn)18nm DRAM，至今尚未公布1ynm DRAM量產(chǎn)計劃，業(yè)界認(rèn)為三星已準(zhǔn)備好1znm量產(chǎn)技術(shù)，只是無法決定導(dǎo)入時間點。Kjuesmc
熟悉三星電子情況的人士說，原則上三星的EUV機(jī)臺只會用在7納米晶圓代工，不過有些可以拿來生產(chǎn)DRAM。三星最可能以ASML生產(chǎn)的EUV機(jī)臺進(jìn)行量產(chǎn)，預(yù)料將裝設(shè)4~8臺EUV設(shè)備，但機(jī)臺價格動輒數(shù)千億韓元，制程速度慢是最大缺點，三星能否獲利仍是未知數(shù)，。Kjuesmc
專家預(yù)測，雖然導(dǎo)入EUV仍有幾項缺點，三星仍會考慮用EUV生產(chǎn)10納米DRAM，以維持市場龍頭寶座。前不久韓媒曾報導(dǎo)三星擬訂下ASML近90%的機(jī)臺，以阻礙臺積電等廠的量產(chǎn)進(jìn)度。Kjuesmc
三星是全球DRAM霸主，市調(diào)機(jī)構(gòu)的資料顯示，2017年第3季三星在移動設(shè)備與服務(wù)器DRAM市場的占有率各為58.3%、45.9%，DRAM的營業(yè)利益率更高達(dá)62%。2016年下半年首先量產(chǎn)18納米DRAM，今年下半年將推進(jìn)至15納米，制程領(lǐng)先對手1至2年。Kjuesmc
據(jù)韓媒報導(dǎo)，三星電子的半導(dǎo)體事業(yè)司令部已由器興移到華城。會長權(quán)五鉉執(zhí)掌半導(dǎo)體暨設(shè)備解決方案事業(yè)部(DS)時期，權(quán)五鉉的辦公室位于器興廠區(qū)，社長金奇南接任DS部長后，每天上下班地點是華城廠區(qū)內(nèi)的半導(dǎo)體零組件研究大樓，業(yè)界認(rèn)為金奇南將會加強(qiáng)對系統(tǒng)半導(dǎo)體事業(yè)的管理效率。Kjuesmc
SK海力士、美光拼命追趕
另外，三星的競爭對手SK海力士也有意以更先進(jìn)制程生產(chǎn)DRAM。傳聞2017年第4季SK海力士將啟動1xnm DRAM生產(chǎn)，并在2018年下半開發(fā)出1ynm DRAM制程，但SK海力士并未明確提到是否采用EUV設(shè)備。Kjuesmc
DRAM第三大廠美光也在拼命追趕。美光已于今年第一季量產(chǎn)18納米DRAM，計劃未來兩三年砸下20億美元，研發(fā)13納米DRAM制程。美光在日本廣島廠增設(shè)無塵室設(shè)備，并購買了多項高價生產(chǎn)儀器，進(jìn)入13納米制程之后，同一片晶圓能分割成更多芯片，生產(chǎn)力將提高20%。Kjuesmc
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