3D-NAND內(nèi)存自從2013年8月以來(lái)已經(jīng)成功地投入市場(chǎng)。雖然，3D-NAND仍然比平面NAND更昂貴，但大家都期待它將有助于快速地降低NAND的成本，以及取代平面NAND。但這是為什么呢？事實(shí)上，3D-NAND仍然存在著目前無(wú)法輕易克服的許多問(wèn)題。5Ynesmc

因此，我想在本文中討論與3D-NAND有關(guān)的幾個(gè)技術(shù)議題以及一般對(duì)它的誤解。首先看看有關(guān)3D-NAND的技術(shù)問(wèn)題。5Ynesmc

超大單元尺寸：通道孔的長(zhǎng)寬比更高，導(dǎo)致較大的單元尺寸。此外，鎢絲狹縫為超大有效單元尺寸增加了額外的面積。例如，三星(Samsung)采用15nm節(jié)點(diǎn)的32層(32-layer) 3D-NAND具有大約31,000nm2的有效單元大小，可以容納30個(gè)平面NAND單元。5Ynesmc

超大字符線步階：?jiǎn)卧褩５膶訑?shù)高，導(dǎo)致字符線步階較大，而且還提高了制程的復(fù)雜度以及處理成本。例如，三星的32層3D-NAND在單元邊緣的字符線步階延伸了超過(guò)20um。5Ynesmc

內(nèi)存單元效率低：除了鎢絲狹縫、字符線步階以及內(nèi)存周邊邏輯組件以外，內(nèi)存單元只占芯片面積的40%，明顯更低于平面NAND一般約占65%以上的芯片面積。5Ynesmc

晶圓總產(chǎn)量低：芯片面積的形成需要沉積超過(guò)100個(gè)無(wú)瑕疵的覆蓋層，而要形成閘極與字符線步階則帶來(lái)極端的制程復(fù)雜度。此外，3D-NAND仍然必須使用雙重圖案來(lái)形成位線，這些問(wèn)題都將導(dǎo)致晶圓產(chǎn)量減少。5Ynesmc

巨大的晶圓廠投資：從平面NAND轉(zhuǎn)型至3D-NAND需要更高3倍至5倍的晶圓廠投資。即使3D-NAND技術(shù)成熟了(即從第一代進(jìn)展到第二代、第三代)，整體晶圓廠投資預(yù)計(jì)仍將維持較平面NAND的生產(chǎn)更高3倍左右。由于工具抑制和維護(hù)費(fèi)用將占整個(gè)制造成本的40%至50%，3D-NAND仍然比平面NAND更難以降低制造成本。5Ynesmc

不過(guò)，您真的認(rèn)為3D-NAND可在不久的將來(lái)降低NAND的成本嗎？我想，關(guān)于3D-NAND，我們可能存在以下幾種誤解。

圖1：256GB SSD的市場(chǎng)價(jià)格比較；3D-NAND尚未帶來(lái)低成本的優(yōu)勢(shì)5Ynesmc

3D-NAND比平面NAND更便宜約30%：這個(gè)說(shuō)法只有一小部份正確，其他的大多數(shù)都誤解了。例如，以16nm制程節(jié)點(diǎn)來(lái)看，美光(Micron)的Crucial MX300固態(tài)硬盤(pán)(SSD)采用32層堆棧的三層儲(chǔ)存單元(TLC)3D-NAND，比采用多層儲(chǔ)存單元(MLC)平面NAND的美光Crucial MX200 SSD更便宜30%。然而，在19nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)時(shí)，MX300卻較采用MLC平面NAND的SanDisk SSD PLUS更昂貴。5Ynesmc

堆棧單元層數(shù)高可降低每位成本：如果增加堆棧層數(shù)，那么，包括單元尺寸、字符線步階大小、單元效率與低晶圓產(chǎn)能等各種技術(shù)問(wèn)題將會(huì)變得更棘手。如圖1的SSD價(jià)格比較所示，64層SSD的價(jià)格比平面NAND更昂貴。當(dāng)堆棧單元層數(shù)超過(guò)64層時(shí)，諸如電流密度、單元均勻度、薄膜應(yīng)力、通道孔的深寬比等技術(shù)難度將呈指數(shù)級(jí)攀升。這就好像住在高樓層建筑物的生活費(fèi)難道會(huì)比在低樓層住宅生活更便宜嗎？因此，在每位成本與堆棧單元層數(shù)之間存在著高度不確定性。

圖2：對(duì)于3D-NAND的期待與現(xiàn)實(shí)5Ynesmc

3D-NAND具有比平面NAND更高的性能和可靠度。那么，這將有助于增加3D-NAND的價(jià)值？這個(gè)問(wèn)題的答案算對(duì)，也算不對(duì)，端視你拿什么來(lái)做比較。如果我們比較TLC平面NAND和TLC 3D-NAND，那么TLC 3D-NAND具有更高的性能與可靠度。然而，單純以性能和可靠度方面來(lái)看，MLC平面NAND更優(yōu)于TLC 3D NAND。例如，Crucial MX200 (在16nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)，采用MLC平面NAND)比Crucial MX300(采用32層TLC 3D-NAND)具有更好的性能。5Ynesmc

隨著3D-NAND日趨成熟，3D-NAND將會(huì)比平面NAND更便宜：3D-NAND已經(jīng)從4年前開(kāi)始量產(chǎn)了，目前，三星每個(gè)月為3D-NAND產(chǎn)品生產(chǎn)大約14萬(wàn)片晶圓。根據(jù)IHS Markit負(fù)責(zé)分析NAND市場(chǎng)的NAND閃存技術(shù)研究總監(jiān)Walter Coon介紹，3D-NAND預(yù)計(jì)將在2017年底以前占所有NAND產(chǎn)量的35%至40%。因此，我們可以說(shuō)3D-NAND已經(jīng)成熟了。5Ynesmc

過(guò)去60年來(lái)，半導(dǎo)體IC技術(shù)基于一個(gè)非常簡(jiǎn)單的經(jīng)驗(yàn)法則——摩爾定律(Moore’s Law)，取得了令人矚目的成就。然而，眾所周知，這個(gè)原則再也不適用于NAND閃存了。因此，大多數(shù)的NAND供貨商選擇了3D-NAND的發(fā)展路徑，期望追求比平面NAND更低的每位成本。一開(kāi)始，3D-NAND似乎很自然地成了NAND的選擇。然而，3D-NAND至今仍無(wú)法達(dá)到低成本。5Ynesmc

因此，現(xiàn)在應(yīng)該是業(yè)界開(kāi)始討論3D-NAND是否會(huì)是NAND閃存正確發(fā)展路徑的最佳時(shí)機(jī)了。5Ynesmc

5Ynesmc