美西時(shí)間 9 月 12 日，英特爾宣布已同意將 IMS約 10% 的股份出售給臺積電。該交易預(yù)計(jì)將于 2023 年第四季度完成。uJ1esmc

　　此次臺積電對 IMS的投資估值約為 43 億美元，與此前英特爾向貝恩資本出售其股權(quán)的估值一致。英特爾將保留 IMS 的多數(shù)股權(quán)，IMS將繼續(xù)作為前者的獨(dú)立子公司并在其首席執(zhí)行官Elmar Platzgummer 的領(lǐng)導(dǎo)下繼續(xù)運(yùn)營。uJ1esmc

　　Platzgummer 表示：“我們很高興引入新投資者，幫助我們鞏固 IMS 在多光束掩模寫入領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)地位，這是前沿半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新的支柱。”uJ1esmc

　　臺積電業(yè)務(wù)開發(fā)高級副總裁Kevin Zhang表示：“臺積電自 2012 年以來一直與 IMS 合作開發(fā)用于先進(jìn)技術(shù)節(jié)點(diǎn)的多光束掩模寫入器。這項(xiàng)投資延續(xù)了臺積電與 IMS 之間的長期合作伙伴關(guān)系，以加速創(chuàng)新并實(shí)現(xiàn)更深入的跨行業(yè)合作。”uJ1esmc

　　英特爾稱，貝恩資本和臺積電的投資共同為 IMS 提供了更大的獨(dú)立性，并增強(qiáng)了業(yè)界對 IMS 面臨的重大機(jī)遇的信心。這將幫助 IMS 加速其發(fā)展并推動光刻技術(shù)創(chuàng)新，從而使該行業(yè)能夠過渡到新的圖案化系統(tǒng)，例如高數(shù)值孔徑(高NA)EUV。uJ1esmc

　　IMS，全稱為IMS Nanofabrication Global, LLC ，系英特爾控股子公司。自 2015 年發(fā)明多電子束技術(shù)并推出首款商用多光束掩模寫入器以來，這家總部位于奧地利維也納的 IMS 一直是先進(jìn)技術(shù)節(jié)點(diǎn)多光束掩模寫入領(lǐng)域的行業(yè)領(lǐng)導(dǎo)者。其第一代多光束掩膜寫入器MBMW-101已在世界各地成功運(yùn)行。第二代多光束掩模寫入器MBMW-201，已于2019年第一季度進(jìn)入5nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的掩模寫入器市場。今年，IMS 推出了 MBMW-301，這是一款第四代多光束掩模寫入器。uJ1esmc

　　英特爾最初于 2009 年投資 IMS，并最終于 2015 年收購了該業(yè)務(wù)。自收購以來，IMS 為英特爾帶來了顯著的投資回報(bào)，同時(shí)其員工和生產(chǎn)能力增長了四倍，并交付了另外三代產(chǎn)品。uJ1esmc

　　今年6月，英特爾宣布達(dá)成協(xié)議，將IMS約20%的股份出售給貝恩資本，交易對 IMS 的估值約為 43 億美元。貝恩資本 (Bain Capital) 合伙人 Marvin Larbi-Yeboa 表示：“作為半導(dǎo)體制造和納米技術(shù)行業(yè)新興技術(shù)的全球領(lǐng)導(dǎo)者和創(chuàng)新者，我們相信，隨著更多芯片產(chǎn)能的釋放，IMS將充分利用其領(lǐng)先的競爭地位、技術(shù)差異化和尖端產(chǎn)品能力，獲得長期利好。”uJ1esmc

　　如今，隨著 EUV 技術(shù)在前沿技術(shù)中得到廣泛采用，創(chuàng)建先進(jìn) EUV(極紫外光刻)掩模所需的多光束掩模寫入工具已成為半導(dǎo)體制造生態(tài)系統(tǒng)日益重要的組成部分。此次臺積電投資將使 IMS 通過加速創(chuàng)新和實(shí)現(xiàn)更深入的跨行業(yè)合作，來抓住多光束掩模寫入工具的重要市場機(jī)會。到 2030 年，全球半導(dǎo)體市場預(yù)計(jì)將達(dá)1 萬億美元。這一增長的關(guān)鍵推動因素是光刻技術(shù)的進(jìn)步，例如 EUV，這對于支持這些要求苛刻的應(yīng)用的前沿節(jié)點(diǎn)至關(guān)重要。這些光刻技術(shù)的進(jìn)步依賴于先進(jìn)的掩模寫入工具，這使得 IMS 的領(lǐng)先技術(shù)成為整個(gè)生態(tài)系統(tǒng)創(chuàng)新的核心。uJ1esmc