全球范圍內(nèi)對(duì)全氟和多氟烷基物質(zhì)（PFAS）影響的環(huán)境審查日益嚴(yán)格。與此同時(shí)，半導(dǎo)體制造中PFAS含化學(xué)品的使用仍然至關(guān)重要，這給行業(yè)帶來了日益嚴(yán)峻的挑戰(zhàn)。去年，TechInsights就PFAS含化學(xué)品使用最多的光刻工藝關(guān)鍵領(lǐng)域給出了看法，并指出，在某些情況下，即使能夠找到與化學(xué)放大型抗蝕劑（CAR）性能相當(dāng)?shù)腜FAS替代品，也至少需要幾十年時(shí)間，這樣的情況令人擔(dān)憂。P7wesmc
TechInsights預(yù)測(cè)，全球半導(dǎo)體生產(chǎn)將持續(xù)增長(zhǎng)，到2030年出貨量將超過17000 MSI（百萬平方英寸），且這一問題未見緩解跡象，將持續(xù)加劇。P7wesmc
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近幾個(gè)月來，除了半導(dǎo)體行業(yè)外，PFAS還引發(fā)了廣泛的政治發(fā)展。據(jù)報(bào)道，新上任的特朗普政府曾推翻了環(huán)境保護(hù)局（EPA）限制工業(yè)廢水中PFAS的計(jì)劃。但實(shí)際情況更為復(fù)雜，拜登政府去年簽署的關(guān)于飲用水中PFAS限制的法規(guī)仍然有效。同時(shí)，對(duì)即將出臺(tái)的法規(guī)進(jìn)行了凍結(jié)（這對(duì)新上任的政府來說并不罕見），工業(yè)廢水方面的結(jié)果尚待觀察。P7wesmc
就半導(dǎo)體行業(yè)而言，有一點(diǎn)是確定的。無論是拜登政府的CHIPS法案，還是特朗普提出的替代方案，美國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的回流都將導(dǎo)致PFAS使用量大幅增加，這與PFAS法規(guī)相悖。P7wesmc
半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)（SIA）PFAS聯(lián)盟估計(jì)，如果化學(xué)上能夠復(fù)制出同等水平的抗蝕劑，那么替換化學(xué)放大抗蝕劑中的PFAS含光酸發(fā)生器可能需要20多年時(shí)間。P7wesmc
責(zé)編：Momoz
