據(jù)日媒報道,Oji Holdings在光阻劑生產(chǎn)上的技術(shù)路線,原則是從木材中提取可用于光阻劑的前體材料,然后將前體材料和特定溶劑混合聚合、并采用凈化技術(shù)去除雜質(zhì)之后,這樣就得到了光阻劑的成品。對此,Oji Holdings宣稱其木基光阻劑可滿足2納米先進制程需求,這代表的也是針對日本新創(chuàng)晶圓代工廠商Rapidus的商機而來。lozesmc
事實上,傳統(tǒng)的正性光阻劑通常需要添加有害的永久化學品PFAS來提高光敏感度。而Oji Holdings的木基光阻劑在EUV極紫外光下的降解速率,相較傳統(tǒng)產(chǎn)品高出8倍,特性取消了了PFAS的使用需求,而且更為環(huán)保的同時也可提升先進制成圖案化的質(zhì)量。lozesmc
此外,傳統(tǒng)光阻劑多為石油基塑膠制品,木基光阻劑在生產(chǎn)原料上也可降低了溫室氣體的排放數(shù)量。Oji Holdings表示,其在木基光阻劑上的商業(yè)目標是到2030年之前每年達到100億日元的銷售金額。lozesmc
責編:Elaine