納米線寬作為集成電路的關(guān)鍵尺寸，指晶體管柵極的最小線寬（柵寬），是描述集成電路工藝先進程度的一個重要指標，其量值的準確性將極大影響電流、電阻等電特性參數(shù)等芯片器件的性能指標。hC5esmc
有研究表明，當集成電路線寬節(jié)點達到32nm以下時，線寬量值10%的誤差將導(dǎo)致芯片器件失效。當前集成電路先進的工藝制程節(jié)點要求線寬達到原子級準確度，通常采用線寬標準物質(zhì)對關(guān)鍵尺寸量測設(shè)備進行計量溯源，以確保關(guān)鍵尺寸設(shè)計加工的準確性。hC5esmc
隨著集成電路工藝制程節(jié)點的不斷縮小，芯片的晶體管密度增加和性能提升得益于晶體管柵極寬度的不斷減少。hC5esmc
中國計量科學(xué)研究院的納米線寬標準物質(zhì)研制團隊，以國際計量局規(guī)定的國際單位制米定義復(fù)現(xiàn)方法—硅晶格{220}方向尺寸（0.192nm）為基礎(chǔ)，采用內(nèi)稟硅晶格原子標尺的線寬標準物質(zhì)設(shè)計方案，實現(xiàn)對線寬標準物質(zhì)的原子級準確度（<1nm）計量溯源，突破了現(xiàn)有波長計量基準（633nm）溯源方式對線寬測量的5nm不確定度水平極限，研制成功了與集成電路關(guān)鍵制程節(jié)點相對應(yīng)的7nm、22nm、45nm的線寬標準物質(zhì)，不確定度水平處在0.32nm～1.3nm，初步構(gòu)建了基于硅晶格常數(shù)溯源的集成電路高準確度納米線寬計量溯源體系，為保障集成電路與原子級制造幾何量值的準確性奠定了堅實計量基礎(chǔ)。hC5esmc
責(zé)編：Elaine
