索尼的Exmor T工藝——其光電二極管是其自有專用工藝層,深度為 4.2 um,可增加響應(yīng),并提供全背面深溝槽隔離,從而減少光學(xué)和光載流子串?dāng)_。mpPesmc
TechInsights 在今年早些時候拆解索尼 Xperia 智能手機時首次記錄了這一技術(shù)創(chuàng)新。它也被用于后置廣角攝像頭模塊。mpPesmc
該工藝技術(shù)結(jié)合了光電二極管層的基礎(chǔ)技術(shù),但有關(guān)鍵區(qū)別:對于iPhone 15來說,每個像素都是一個光電二極管,通過一個deep contact讀出,而對于Xperia來說,在一個單色濾光片下有多個半間距(half-pitch)光電二極管(通過一個轉(zhuǎn)移柵極);對于iPhone 15來說,有一個完全的隔離,背面的深溝槽端在淺溝槽隔離上,而對于Xperia來說,在前面有一個間隙,提供光載波的共享。mpPesmc
光電二極管和像素器件堆疊層的技術(shù)面臨的一個挑戰(zhàn)是如何在無序的界面上傳輸電荷。索尼通過回到堆疊技術(shù)早期使用的技術(shù)來實現(xiàn)這一點:在器件制造完成并將兩層粘合在一起之后,在金屬層沉積之前,創(chuàng)建雙觸點,一個是與光電二極管層中底層浮動擴散節(jié)點的深觸點,另一個是與源跟隨器和器件二極管的正常淺觸點。這解決了問題,但可能會損害轉(zhuǎn)換增益,并占用限制像素尺寸縮小的面積。mpPesmc
責(zé)編:Momoz