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國產(chǎn)光刻機工廠落地雄安?中國電子院澄清

近期,一則“7納米光刻機實現(xiàn)國產(chǎn)化”消息在業(yè)界刷屏,消息指出清華大學EUV項目實現(xiàn)了光刻機國產(chǎn)化,并表示該項目已在雄安新區(qū)落地。對此,9月18日中國電子院官微進行了澄清。

9月18日中國電子院官微澄清稱,該項目不是國產(chǎn)光刻機工廠,而是北京高能同步輻射光源項目(HEPS),而且項目位于北京懷柔雁棲湖畔。jcHesmc

HEPS可以看成是一個超精密、超高速、具有強大穿透力的巨型X光機。它產(chǎn)生的小光束可以穿透物質(zhì)、深入內(nèi)部進行立體掃描從分子、原子的尺度多維度地觀察微觀世界HEPS,是進行科學實驗的大科學裝置。jcHesmc

據(jù)悉,上述項目在2019年始建設,將在2025年底投入使用,是我國第一臺高能量同步輻射光源,也是世界上亮度最高的,第四代同步輻射光源之一。jcHesmc

項目由全國勘察設計大師、國投集團首席科學家婁宇帶隊,中國電子院多個技術科研和設計團隊協(xié)同合作,從項目可研立項到項目落地攻克了多項技術和工藝難關。目前高能同步輻射光源配套工程已全面完工。jcHesmc

責編:Elaine
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