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深圳院企聯(lián)手,拓展第三代半導體先進材料研發(fā)

近日,中國科學院深圳先進技術(shù)研究院光子信息與能源材料研究中心(下文簡稱“研究中心”)與深圳市納設(shè)智能裝備有限公司成立了先進材料聯(lián)合實驗室,推進產(chǎn)學研深度融合。

資料顯示,上述研究中心成立于2008年,專注于高性能多元化合物半導體材料的前沿技術(shù)研究,在光電傳感半導體材料制造方面取得了一系列成就。HYVesmc

納設(shè)智能則成立于2018年10月,致力于第三代半導體碳化硅外延設(shè)備、石墨烯等先進材料制造裝備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和應(yīng)用推廣。該公司自有第三代半導體碳化硅高溫化學氣相沉積外延設(shè)備,是中國首臺完全自主創(chuàng)新的碳化硅外延設(shè)備。HYVesmc

研究中心專注于先進材料的應(yīng)用研究,納設(shè)智能在先進材料的設(shè)備制造方面頗有心得,二者一拍即合。HYVesmc

目前雙方除了著重于工藝和設(shè)備的合作外,聯(lián)合實驗室還將對其他半導體先進材料進行研究,如氮化鋁、氮化鎵、石墨烯等先進材料生長設(shè)備及工藝。雙方的合作將進一步提高研發(fā)效率,縮短研發(fā)周期,推動先進材料領(lǐng)域的技術(shù)創(chuàng)新。HYVesmc

責編:Elaine
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