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中國團隊在FeRAM新型存儲器領(lǐng)域取得新進展

基于HfO2的鐵電存儲器(FeRAM)由于其高速、良好的可微縮性和CMOS工藝兼容性備受關(guān)注。但FeRAM的特性對溫度極其敏感,性能受溫度影響很大。

如何減輕溫度對FRAM陣列性能的影響,使其能在高溫下實現(xiàn)高可靠性操作需要更加深入研究。 k9yesmc

針對這一問題,中科院微電子所劉明院士團隊提出了一種考慮溫度效應(yīng)的鐵電陣列操作方法,并在128kb 1T1C FeRAM陣列上進行了驗證,證明了在該方法操作下鐵電陣列可實現(xiàn)高溫下的高可靠性操作。k9yesmc

該研究發(fā)現(xiàn)在鐵電陣列操作中,傳統(tǒng)的陣列操作方法在高溫下會造成誤讀。研究人員通過材料表征和電學測量等手段,系統(tǒng)研究了剩余極化在高溫下降低的機理。k9yesmc

研究發(fā)現(xiàn),電子去俘獲引起的內(nèi)建電場的增加是導(dǎo)致剩余極化值降低的主要原因。根據(jù)該機理,研究人員建立了考慮溫度效應(yīng)的動態(tài)蒙特卡洛模型,并通過仿真給出了減輕溫度影響的操作電壓。 k9yesmc

責編:Elaine
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