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半導(dǎo)體CVD設(shè)備國產(chǎn)化進行到哪步了?

近日,微導(dǎo)納米發(fā)布官方消息,公司的首臺半導(dǎo)體CVD薄膜沉積設(shè)備順利發(fā)貨。

CVD設(shè)備需求提升6SXesmc

薄膜沉積分為物理氣相沉積(PVD)和化學(xué)氣相沉積(CVD)兩大類,前者使用物理的方法(如蒸發(fā)、濺射等)使鍍膜材料汽化,在基體表面沉積成膜,后者則利用氣態(tài)或蒸汽態(tài)的物質(zhì)在氣相或氣固界面上發(fā)生反應(yīng)生成固態(tài)沉積物。6SXesmc

當前SiC薄膜生長主要是以CVD為主,包括分子束外延、磁控濺射和脈沖激光淀積等,CVD的優(yōu)勢在于可以精確控制外延膜厚度和摻雜濃度、缺陷較少、生長速度適中、過程可自動控制等優(yōu)點,是目前已經(jīng)成功商業(yè)化的 SiC外延技術(shù)。6SXesmc

評價一款碳化硅CVD的核心指標,主要從外延生長性能(厚度均勻性、摻雜均勻性、缺陷率和生長速率),設(shè)備本身溫度性能(升溫/降溫速率、最高溫度、溫度均勻性),和設(shè)備性價比三個方面進行評判。6SXesmc

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從整個半導(dǎo)體行業(yè)來看,當前國內(nèi)CVD的國產(chǎn)化率還處于較低水平, 從整個半導(dǎo)體市場來看,美國的應(yīng)用材料(Applied Materials)、泛林(Lam Research)和日本的東京電子(TEL)是全球CVD的主要供應(yīng)商。6SXesmc

而在碳化硅領(lǐng)域,僅考慮外延環(huán)節(jié),CVD設(shè)備的主要供應(yīng)商為德國的Aixtron、意大利的LPE、日本的東京電子(TEL)和Nuflare。6SXesmc

且根據(jù)相關(guān)信息,6英寸外延設(shè)備集中在意大利的LPE和日本的NuFlare,而NuFlare主要是供給Wolfspeed和II-VI(更名為Coherent),且數(shù)量僅為十余臺每年,其在中國出售已經(jīng)排至 2023下半年,每臺設(shè)計產(chǎn)能為 1800 片/月。日本東京電子(TEL)的設(shè)備主要采用雙腔體,對提高產(chǎn)量有一定的作用,但因價格和技術(shù)IP等問題,較少出現(xiàn)在國內(nèi)市場中。6SXesmc

國產(chǎn)碳化硅設(shè)備最新進展6SXesmc

今年2月,晶盛機電發(fā)布了6英寸雙片式SiC外延設(shè)備,該設(shè)備通過對反應(yīng)室石墨件的改造,采用上下層疊加的方式,單爐可以生長兩片外延片,且上下層工藝氣體可以單獨調(diào)控,溫差≤5℃,有效彌補了單片水平式外延爐產(chǎn)能不足的劣勢。6SXesmc

5月,粵升公司宣布其自主研發(fā)的4/6英寸SiC外延設(shè)備,已無故障連續(xù)穩(wěn)定運行近300小時,生長的4/6英寸SiC外延片質(zhì)量均達到國際先進水平,滿足MOSFET和SBD器件的制備要求。6SXesmc

同月,“長城控股招標中心”發(fā)文稱,其已啟動“精工自動化碳化硅外延廠房改造設(shè)計項目”,目前正在進行招標工作。6SXesmc

此外,鹽城市鹽都區(qū)人民政府報道提到,漢印機電2022年投資了10億元,啟動漢印半導(dǎo)體裝備項目,新上40臺(套)第三代半導(dǎo)體碳外延設(shè)備,可年產(chǎn)20萬片碳化硅外延片。6SXesmc

責編:Elaine
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