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研發(fā)再突破,北大團(tuán)隊(duì)制備迄今速度最快能耗最低二維晶體管

近期,北京大學(xué)電子學(xué)院彭練矛院士、邱晨光研究員課題組制備了10納米超短溝道彈道二維硒化銦(InSe)晶體管,成為世界上迄今速度最快、能耗最低的二維半導(dǎo)體晶體管。

晶體管實(shí)際性能超過(guò)Intel商用10納米節(jié)點(diǎn)的硅基Fin晶體管,并且將二維晶體管的工作電壓降到0.5V。dyPesmc

據(jù)“北京大學(xué)”介紹,這一研究實(shí)現(xiàn)了三方面技術(shù)革新:dyPesmc

首先,采用高載流子熱速度(更小有效質(zhì)量)的三層硒化銦作溝道,實(shí)現(xiàn)了目前場(chǎng)效應(yīng)晶體管的最高值;dyPesmc

第二,解決了二維材料表面生長(zhǎng)超薄氧化層的難題,制備出2.6納米超薄雙柵氧化鉿,將器件跨導(dǎo)提升到6毫西·微米,超過(guò)所有二維器件一個(gè)數(shù)量級(jí);dyPesmc

最后,開(kāi)創(chuàng)了摻雜誘導(dǎo)二維相變技術(shù),克服了二維器件領(lǐng)域金半接觸的國(guó)際難題,將總電阻刷新至124歐姆·微米。dyPesmc

這項(xiàng)工作突破了長(zhǎng)期以來(lái)阻礙二維電子學(xué)發(fā)展的關(guān)鍵科學(xué)瓶頸,將n型二維半導(dǎo)體晶體管的性能首次推近理論極限,率先在實(shí)驗(yàn)上證明出二維器件性能和功耗上優(yōu)于先進(jìn)硅基技術(shù),為推動(dòng)二維半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展注入了強(qiáng)有力的信心和活力。dyPesmc

責(zé)編:Elaine
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