十年前，18英寸晶圓技術曾是半導體產(chǎn)業(yè)內(nèi)熱議的話題，當時不少雄心勃勃的芯片公司投以重資，卻紛紛鎩羽而歸。其中最大的原因是——成本。2004年，SEMI認為該領域需要投入的成本為250億至400億美元，2011年，Leti也認為差不多需要400億美元，一度還成立了全球18英寸聯(lián)盟（Global450Consortium）。LrLesmc

2011年，半導體制造聯(lián)盟Sematach負責人經(jīng)理TomJefferson曾表示，計劃從2013年年中至2014年初，將在紐約阿爾巴尼建立一條完整的18英寸生產(chǎn)線，該生產(chǎn)線采用50中不同的設備類型。LrLesmc

然而這個18英寸聯(lián)盟成員卻目的各不相同，計劃中的50個設備類型來自不同的供應商，目的主要是數(shù)據(jù)開發(fā)，以支持來自復雜供應商的各種設備類型。LrLesmc

TomJefferson還認為，非參與者，即聯(lián)盟之外的企業(yè)不太可能獲得很多18英寸的專利或者共享聯(lián)盟工作人員資源，以及不太可能享有和聯(lián)盟伙伴同樣的“財務杠桿伙伴關系”。LrLesmc

然而，即便是聯(lián)盟參與者，在晶圓良率測試方面也有優(yōu)先級，給人的印象是，不參加該計劃會降低生產(chǎn)線推廣的概率。LrLesmc

當時業(yè)內(nèi)已經(jīng)擔憂一些設備供應商可能會選擇遠離18英寸，專注于12英寸平臺的專業(yè)開發(fā)，8納米節(jié)點對18英寸來說走到了一個歷史節(jié)點，SEMI在2011年曾經(jīng)做出過這樣一個判斷：“后COMS時代18英尺晶圓將是主流尺寸。在15-20年內(nèi)，即使是MEMS、電源管理芯片等小批量成熟技術也可以遷移到18英寸廠”。不過SEMI還指出，一旦18英寸大規(guī)模上馬，會導致12英寸產(chǎn)能過剩，8英寸生產(chǎn)線的遷移也會受到影響。LrLesmc

CEA-Leti研究員MichelBrillouet給了當時的歐盟委員會幾個建議，大力開發(fā)18英寸晶圓技術拓展，暫時擱置對摩爾定律極限的討論，或者擱置18英寸的開發(fā)，專注3D封裝和光刻機的研發(fā)。LrLesmc

不過18英寸最終戛然而止。LrLesmc

很長時間里我們都在討論關于18英寸晶圓的東西。LrLesmc

目前大約有130家公司擁有6英寸晶圓廠，而擁有8英寸晶圓廠的公司不到90家,擁有12英寸晶圓廠的公司只有24家。LrLesmc

晶圓直徑越大，每片晶圓能夠生產(chǎn)的芯片數(shù)量就越多，采用大尺寸晶圓，增加的成本（主要在材料和制作工序上）并不高，但是可以大幅增加產(chǎn)量，從而降低單顆芯片的成本。從歷史數(shù)據(jù)來看，晶圓廠每一次采用大尺寸晶圓取代原有產(chǎn)線，單位面積生產(chǎn)成本可以降低20%。LrLesmc

18英寸晶圓的面積是12英寸晶圓的2.25倍。如果建造18英寸晶圓廠，其wpm輸出與12英寸晶圓廠相同，則需要的晶圓廠數(shù)量減少大約2.25倍（由于較低的邊緣芯片損失甚至更少），25個內(nèi)存晶圓廠變成11個內(nèi)存晶圓廠，100個邏輯或其他晶圓廠變成44個晶圓廠。這些是要建造的更易于管理的晶圓廠數(shù)量。LrLesmc

相對應的運行晶圓廠所需的人員數(shù)量取決于晶圓的數(shù)量，由于晶圓的尺寸大數(shù)量少，晶圓廠所需的人數(shù)也會減少。LrLesmc

不幸的是，目前在18英寸晶圓產(chǎn)線發(fā)展上遇到了資金和技術的雙重壓力，導致晶圓廠向18英寸晶圓產(chǎn)線轉(zhuǎn)進的速度急劇放緩。開發(fā)18英寸的努力已經(jīng)結(jié)束，唯一的18英寸晶圓廠已經(jīng)退役。18英寸的工作與過去的晶圓尺寸轉(zhuǎn)換不同，在150mm時，英特爾是領導轉(zhuǎn)型并支付大量工作費用的公司，而在200mm時則是IBM。在12英寸時，設備公司承擔了很多成本，他們需要很長時間才能收回投資。LrLesmc

50mm的成本再次被推到設備公司身上，他們非常不愿意接受這種情況。2014年，英特爾（18英寸的主要驅(qū)動力之一）利用率低，42號晶圓廠閑置，因此他們將資源從18英寸撤下，臺積電也在18英寸上退讓，設備公司暫停開發(fā)工作，18英寸晶圓就此“死亡”。LrLesmc

在這一點上，重振18英寸可能為時已晚，ASML只是試圖生產(chǎn)足夠的EUV系統(tǒng)并將HighNA設備投入生產(chǎn)。12英寸的HighNAEUV系統(tǒng)已經(jīng)非常龐大——難以運輸系統(tǒng)，制造更大的18英寸版本將是前所未有的工程挑戰(zhàn)。LrLesmc

半導體公司長期以來一直在短視地壓榨供應商的價格，這往往對自己的長期不利。起始晶圓就是一個很好的例子，價格已經(jīng)被壓低到晶圓制造商投資新產(chǎn)能不經(jīng)濟，現(xiàn)在該行業(yè)面臨短缺?，F(xiàn)在，只有短缺驅(qū)動的價格上漲才能最終使新的投資變得經(jīng)濟。LrLesmc

  在接下來的十年中，由于我們在努力減少環(huán)境足跡的同時可能使我們的行業(yè)翻倍排放碳足跡，使用18英寸晶圓會使得減少碳排放容易得多。    LrLesmc