大基金一期逐漸退出的同時，二期也在持續(xù)跟進(jìn)。bhUesmc
10月18日，至純科技公告，為進(jìn)一步加快實(shí)現(xiàn)至微科技成為國內(nèi)濕法設(shè)備領(lǐng)頭羊的戰(zhàn)略目標(biāo)，提高產(chǎn)業(yè)資源整合能力，公司控股子公司至微科技擬通過增資擴(kuò)股引入核心戰(zhàn)略投資者。bhUesmc
根據(jù)公告，本次交易前，至微科技注冊資本為4.55億元，依據(jù)增資前至微科技25億元的估值，對應(yīng)5.4945元/注冊資本，本次遠(yuǎn)致星火、大基金二期、混改基金、中芯聚源、裝備材料基金、芯鑫鼎橡、平潭溥博芯誠股權(quán)投資合伙企業(yè)（有限合伙）、上海芯晟至遠(yuǎn)企業(yè)管理合伙企業(yè)（有限合伙）合計向至微科技增資4.2億元，其中大基金二期和混改基金分別出資1820萬元，持股比例為3.42%。bhUesmc
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△增資完成后至微科技股東信息（Source：至純科技公告截圖）bhUesmc
公開資料顯示，至微科技是承載至純科技重要戰(zhàn)略決策“從工藝裝備支持系統(tǒng)到工藝裝備”、投入濕法設(shè)備研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化的主體。自成立以來，至微科技完成了系列化產(chǎn)品的研發(fā)、制造和銷售，累計已獲得來自各大集成電路制造領(lǐng)先企業(yè)的濕法設(shè)備訂單超過160臺，成為國內(nèi)濕法設(shè)備的主要供應(yīng)商之一。bhUesmc
此前，至純科技曾表示，公司28nm節(jié)點(diǎn)全部濕法工藝設(shè)備已認(rèn)證完畢。14nm~7nm技術(shù)世代已接到4臺套機(jī)臺多個工藝的正式訂單，將于2022年交付至客戶產(chǎn)線驗(yàn)證。bhUesmc
責(zé)編：Clover.li
