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住友化學(xué)將在韓興建ArF光刻膠廠

8月31日,日本住友化學(xué)在其官網(wǎng)宣布決定擴(kuò)大其用于先進(jìn)半導(dǎo)體工藝的光刻膠生產(chǎn)能力。

Aqkesmc

圖片來(lái)源:住友化學(xué)官網(wǎng)截圖Aqkesmc

新聞稿指出,住友化學(xué)將在大阪工廠(日本大阪河野谷)擴(kuò)建浸入式ArF和EUV光刻膠生產(chǎn)線,同時(shí),還計(jì)劃在其全資子公司韓國(guó)東宇精細(xì)化學(xué)株式會(huì)社益山廠建立一座新的ArF浸沒光刻用光刻膠生產(chǎn)工廠。Aqkesmc

住友化學(xué)表示,大阪工廠計(jì)劃于2023財(cái)年上半年開始投產(chǎn),東宇精細(xì)化學(xué)益山工廠計(jì)劃于2024財(cái)年上半年開始投產(chǎn)。Aqkesmc

由于大阪工廠的產(chǎn)能擴(kuò)建和此次新建工廠,住友化學(xué)的ArF光刻膠產(chǎn)能到2024年度將提高至2019年度的2.5倍。Aqkesmc

責(zé)編:Elaine
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