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參數(shù)表征既需要進(jìn)行電流－電壓（IV）測量，也需要進(jìn)行電容－電壓（CV）測量。目前開發(fā)的制程技術(shù)通常需要通過單通道對晶圓上器件進(jìn)行精確的 IV 和 CV 測量。Keysight B1500A 半導(dǎo)體器件分析儀在單臺主機(jī)中使用一個新的單插槽多頻率電容測量單元（MFCMU）和兩個 SMU 單元，能夠支持單通道的 IV 和 CV 測量。