伴隨著半導(dǎo)體集成電路制造工藝的微細化發(fā)展，MEMS技術(shù)逐漸壯大起來。從某種意義上來說，MEMS可以看做是CMOS工藝的延伸。而在CMOS工藝早已標(biāo)準(zhǔn)化的今天，種類繁多的MEMS工藝會走向一統(tǒng)嗎？ MEMS與COMS IC器件的最大差異在于，MEMS沒有IC已經(jīng)成熟的標(biāo)準(zhǔn)化工藝，目前大多數(shù)產(chǎn)線往往只能做到一個產(chǎn)品一種工藝，小批量、高成本，這已經(jīng)遠遠不能滿足逐漸爆發(fā)的MEMS市場需求，于是，MEMS工藝的標(biāo)準(zhǔn)化也成為業(yè)界爭論的一個話題。 MEMS產(chǎn)品需求的多樣化，決定了其工藝的多樣化，因此難以用一個統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)來滿足所有需求。從另一個角度來看，差異化對于廠商保有其專利與產(chǎn)權(quán)極其重要，也能使研發(fā)人員不受標(biāo)準(zhǔn)工藝限制開發(fā)創(chuàng)新的產(chǎn)品。然而，實現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)化的MEMS工藝可以使研發(fā)、代工、封裝等工序利用已有成熟的先進技術(shù)，避免無謂的重復(fù)設(shè)計。 目前Globalfoundries主推的InvenSense Nasiri制造平臺就是一個開放的工藝平臺。Globalfoundries公司MEMS項目總監(jiān)Rakesh Kumar博士指出，開放成熟MEMS制造平臺的好處在于可以實現(xiàn)快速探索創(chuàng)新的設(shè)計理念，顯著縮短上市時間。同時，對于提供批量生產(chǎn)的代工廠而言，即使是小批量量產(chǎn)，也可提供穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品。另一方面，對提供平臺的無/輕晶圓公司(如InvenSense)來說，可以通過授權(quán)來獲得額外的收入。第三方則可以通過NF協(xié)議來解決潛在的專利沖突。另外Kumar表示Globalfoundries也在努力建立可被不同客戶復(fù)用的MEMS工藝模塊。 無獨有偶，另一家代工企業(yè)X-FAB在日前發(fā)布了首個MEMS三軸慣性傳感器開發(fā)平臺。同一個工藝可以生產(chǎn)單軸與雙軸的加速計，而加速計和陀螺儀可采用同一個工藝整合在單芯片上，實現(xiàn)六自由度的慣性傳感單元。該平臺可以直接由代工廠量產(chǎn)，加快了產(chǎn)品導(dǎo)入市場的速度。 X-FAB MEMS產(chǎn)品線經(jīng)理Iain Rutherford表示：“X-FAB開放性平臺的制程開啟MEMS產(chǎn)業(yè)的新時代。我們正在改寫歷史，把‘一個產(chǎn)品、一個工藝’的限制轉(zhuǎn)換到開放性的平臺，此方法給予任意客戶使用世界級質(zhì)量的工藝做多領(lǐng)域的應(yīng)用開發(fā)，能讓他們快速地實現(xiàn)目標(biāo)?！? 從MEMS生態(tài)系統(tǒng)整體看來，標(biāo)準(zhǔn)化仍是一個復(fù)雜的、充滿挑戰(zhàn)和爭議性的話題。開放工藝平臺的逐漸增加，還只是這一進程中的一小步。另一方面，MEMS的標(biāo)準(zhǔn)化也無需照搬CMOS的模式，而是逐漸地、分層級地實現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)化，以避免產(chǎn)品的千篇一律，這樣才不會讓行業(yè)重新陷入殘酷的紅海競爭。 本文為《國際電子商情》原創(chuàng)，版權(quán)所有，謝絕轉(zhuǎn)載

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