從消費(fèi)電子和移動(dòng)通信，到計(jì)算機(jī)、醫(yī)療電子和工業(yè)控制，MEMS技術(shù)正在迅速征服每一個(gè)市場(chǎng)領(lǐng)域。意法半導(dǎo)體公司大中華區(qū)模擬、功率與微電機(jī)系統(tǒng)市場(chǎng)部經(jīng)理吳衛(wèi)東日前在接受本刊采訪時(shí)表示：“隨著規(guī)模效應(yīng)的實(shí)現(xiàn)，3年來(lái)MEMS價(jià)格已經(jīng)降了一半左右，MEMS器件已不再是高端產(chǎn)品的專利，我們的目標(biāo)就是要把它變成通用型消費(fèi)品?！?iPhone的大獲成功促使其他廠商爭(zhēng)相推出具有相類似性能特點(diǎn)的產(chǎn)品，從而刺激了手機(jī)中用于探測(cè)運(yùn)動(dòng)的MEMS加速計(jì)的火爆銷售。iSuppli公司預(yù)測(cè)，到2008年底，全球出貨的12.9億部移動(dòng)設(shè)備中將有10%采用MEMS加速計(jì)，到2012年面向手機(jī)和其它消費(fèi)電子產(chǎn)品的全球MEMS加速計(jì)出貨量將增長(zhǎng)到9億個(gè)。如新一代iPhone 3G就采用了意法的8位三軸數(shù)字加速計(jì)解決方案LIS331DL，而另一款LIS302DL則獲得了諾基亞N95的青睞。其中，LIS331DL的封裝為3×3×0.9mm，據(jù)稱是目前業(yè)界最小尺寸。 針對(duì)中國(guó)市場(chǎng)，意法半導(dǎo)體特別推出了3軸數(shù)字加速計(jì)LIS35DE，這款產(chǎn)品內(nèi)置可編程中斷發(fā)生器、單雙擊識(shí)別、自由跌落和運(yùn)動(dòng)檢測(cè)，具有10,000g高抗沖擊性，采用3×5×1 LGA封裝，可支持橫豎屏切換，晃動(dòng)切換圖片/音樂(lè)等功能。適用于手機(jī)、無(wú)線鼠標(biāo)、電視遙控器、計(jì)步器、玩具等。

十速科技推出的互動(dòng)式游戲平臺(tái)uGame。KKDesmc

游戲機(jī)控制器是MEMS加速計(jì)及陀螺儀的另一個(gè)應(yīng)用熱點(diǎn)。通過(guò)與意法半導(dǎo)體的合作開(kāi)發(fā)，索尼愛(ài)立信已在其手機(jī)游戲極品飛車中實(shí)現(xiàn)了空中運(yùn)動(dòng)控制功能—通過(guò)左右傾斜手機(jī)機(jī)身，即可完成對(duì)游戲車輛的靈活控制。臺(tái)灣地區(qū)十速科技股份有限公司也推出了一款采用意法三軸加速計(jì)LIS302DL的互動(dòng)式游戲平臺(tái)uGame。這款tenx USB集成方案以低功耗、小尺寸為特色，鼠標(biāo)、搖桿、鍵盤、HID四合一多用途USB控制器，實(shí)現(xiàn)對(duì)拳擊、賽車、飛機(jī)、打雪仗等線上游戲的無(wú)線控制。 在筆記本電腦中檢測(cè)自由落體運(yùn)動(dòng)的MEMS運(yùn)動(dòng)傳感器也已經(jīng)成為商用筆記本的標(biāo)準(zhǔn)功能，并將在2009年大量進(jìn)入消費(fèi)筆記本。例如，富士通西門子的ESPRIMO移動(dòng)系列專業(yè)型筆記本電腦就采用了意法半導(dǎo)體的硬盤數(shù)據(jù)保護(hù)解決方案，由一個(gè)三軸運(yùn)動(dòng)傳感器和應(yīng)用軟件兩部分組成。完整的自由跌落檢測(cè)解決方案為PC制造廠商縮短了產(chǎn)品上市時(shí)間。 除了現(xiàn)有的加速計(jì)和陀螺儀系列MEMS之外，意法半導(dǎo)體還計(jì)劃于2009年推出壓力傳感器和硅麥克風(fēng)產(chǎn)品系列。吳衛(wèi)東表示，壓力傳感器可以用于海拔計(jì)、三維GPS定位、家電水位水速監(jiān)測(cè)等，市場(chǎng)前景值得期待，而硅麥克風(fēng)一直是出貨量最大的MEMS器件之一，雖然目前在市場(chǎng)上已經(jīng)不乏有力的競(jìng)爭(zhēng)者，但是整個(gè)MEMS需求非?？捎^，市場(chǎng)遠(yuǎn)未飽和。他舉例說(shuō)，美國(guó)正在醞釀一項(xiàng)規(guī)定，準(zhǔn)備強(qiáng)制要求在手機(jī)中加入壓力傳感器，以便在遇到類似911的緊急事件時(shí)，應(yīng)急服務(wù)機(jī)構(gòu)可以準(zhǔn)確定位高樓中求救者的具體位置，以及提供救助，如果這項(xiàng)規(guī)定最終得以實(shí)施，則意味著又一個(gè)巨大的商機(jī)。 吳衛(wèi)東指出，不同器件的綜合使用將是MEMS未來(lái)的發(fā)展新思路，例如將加速度傳感器與磁力傳感器配合，就可以實(shí)現(xiàn)電子指南針的功能。根據(jù)意法半導(dǎo)體的產(chǎn)品規(guī)劃，未來(lái)更將根據(jù)客戶的需要推出綜合型的模塊化MEMS產(chǎn)品，即將加速度傳感器、壓力傳感器、硅麥克風(fēng)等MEMS器件做在同一個(gè)封裝里面，以進(jìn)一步減少客戶的設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)難度，縮短產(chǎn)品上市時(shí)間。