除了追求更小的終端尺寸，半導(dǎo)體業(yè)界向著更精細(xì)工藝邁進(jìn)的動力也許就只剩下成本競爭力了。隨著65nm、45nm工藝的逐漸推廣，以Intel為首的半導(dǎo)體供應(yīng)商們可以在單位晶圓面積上制造出更多的芯片。不過，在實現(xiàn)更低成本的征途中，還不應(yīng)忘記良率的重要性。事實上，如何盡可能的降低由于良率的損失而造成的成本提升已成為半導(dǎo)體廠商提升競爭力的關(guān)鍵。影響良率的因素有很多，制程、設(shè)備與產(chǎn)品組合的復(fù)雜性、操作員或工程師的經(jīng)驗、設(shè)備的新舊、制程的周期時間、制程導(dǎo)入的時間、在制品的數(shù)量等等。當(dāng)然，還包括設(shè)計、生產(chǎn)到封裝測試的全過程中嚴(yán)格潔凈的環(huán)境。 “從設(shè)計、生產(chǎn)到封裝測試，半導(dǎo)體生產(chǎn)的全過程都需要一個嚴(yán)格潔凈的環(huán)境。”Swagelok(世偉洛克)半導(dǎo)體服務(wù)公司產(chǎn)業(yè)和技術(shù)經(jīng)理John Baxter不久前在上海表示，“日益嚴(yán)格的超高純(UHP)生產(chǎn)環(huán)境需要一系列的高純度和超高純度流體系統(tǒng)部件，Swagelok致力于為半導(dǎo)體客戶提供這樣的解決方案。” Baxter此行是出席Swagelok在面向半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)客戶舉辦的研討會。據(jù)稱，過去幾年來，這家公司在大中華區(qū)半導(dǎo)體行業(yè)的業(yè)務(wù)成長可觀。然而大環(huán)境近一年來的不景氣也對這部分業(yè)務(wù)造成了一定的影響。此次活動就是在市場腳步趨緩時與客戶進(jìn)行當(dāng)面交流，深入了解客戶需求。 Swagelok此次活動選擇在上海、大連、西安三地舉行。不難發(fā)現(xiàn)這三地也是中國代工廠聚集的代表性城市，特別是考慮到SMIC、TSMC在上海以及Intel在大連的投資。作為全球流體系統(tǒng)解決方案的主要開發(fā)商和提供商，Swagelok為全球科研、儀表、制藥、石油和天然氣、電力、石化、替代燃料和半導(dǎo)體行業(yè)提供潔凈鏈系統(tǒng)解決方案。Baxter表示，Swagelok的流體系統(tǒng)零部件產(chǎn)品線，包括膈膜閥、VCR金屬墊片密封和Micro-Fit焊接接頭、氣壓調(diào)壓閥、壓力表、傳感器、過濾器，模塊化氣體系統(tǒng)零部件及卡套管、塑料閥、塑料接頭和塑料卡套管以及軌道焊接系統(tǒng)等。 生產(chǎn)超潔凈系統(tǒng)閥和接頭不僅需要電拋光早期設(shè)計使其看起來閃亮平滑，還需要專門研發(fā)出新設(shè)計、材料和方法來滿足煙嚴(yán)苛的清潔規(guī)范要求。Baxter介紹了Swagelok的潔凈鏈概念。這個鏈條包括設(shè)計、材料選擇、生產(chǎn)、潔凈、檢驗、包裝和安裝七個環(huán)節(jié)。“這些環(huán)節(jié)緊密相連，忽視任何一個環(huán)節(jié)都會令整個潔凈鏈斷裂，對最終的產(chǎn)品性能造成影響。”以設(shè)計為例，一個重要的宗旨就是，零部件可被簡單迅速地清洗和凈化，應(yīng)用中很少生成顆粒，幾乎沒有造成截留。此外，在材料選擇上，該公司也對用于生產(chǎn)清潔、無泄漏零部件的原材料仔細(xì)選擇，重點放在化學(xué)成分、材料特性、夾雜物以及其他特征材料上。 除了各種流體系統(tǒng)連接部件外，Baxter還介紹了該公司的CR-288濃度監(jiān)測器。據(jù)稱，這是半導(dǎo)體行業(yè)首個提供流體化學(xué)濃度在線分析的小型裝置?？砂惭b在生產(chǎn)液流或化學(xué)品傳送與混合點。Baxter表示，通過監(jiān)測半導(dǎo)體生產(chǎn)中的液流，CR-288可幫助行業(yè)減少化學(xué)品消耗、改進(jìn)過程控制和可見性、探測過程問題、減少晶圓報廢并提高生產(chǎn)力。 “潔凈鏈代表了Swagelok對半導(dǎo)體客戶的質(zhì)量承諾。”Baxter強調(diào)，“它使客戶相信所有用于UHP系統(tǒng)的閥門和接頭都滿足最高潔凈度標(biāo)準(zhǔn)的要求?！?